Heliotis 3D 白光干涉掃描儀
HeliInspect H4
heliInspect™H4 3D 面型白光干涉儀量測
H4是一款專為產線上所設計的相機，具有高生產量以及穩定性。也能為設備製造商打造客製化的相機。Heliotis的所有產品皆在瑞士境內製造，並具有持久的穩定性。此儀器採用Heliotis的並行光學相干斷層掃描原理，並提供無與倫比的掃描速率。快速的影像擷取速率和特殊的干涉儀振動隔離設計。
相機能夠安裝在大部份機動性的機台上，包含的範圍如以下
- 解析度：1um (standard), 100 nm (optional)
- 移動範圍：from 40 mm to 1 m
- 軟體介面: C++, Halcon, LabView, Python
應用
- 粗糙的物質表面
- 幾何特徵控制
- 生產線品管控制
- 實驗室自動化
- 代工廠整合
- 數據統計過程管理
特色
- 地形表面量測
- 容積斷層掃描
- 強大且快速
- 亞微米解析度
- 可量測各種物體表面
- 相機外形小
- 相機外形小
- 線性電動機的模塊化系統 (portal robot)
- 軟體開發工具快速整合 (Windows, Mac, Linux)
應用
| 3D sensor | patented smart pixel sensor heliSense™ S3 with in-pixel signal processing of up to 1 million 2D-slices per second |
| 2D mode | live-view for navigation on sample (optional) |
| Light source | standard: red power LED options: Superluminescent Light Emitting Diode (center = 840 nm, Poptical = 8 mW) |
| Field of view | 11.12 x 11.6 mm (standard configuration) |
| Numerical aperture | 0.1 (standard configuration) |
| Working distance | 16 mm (standard configuration) |
| Vertical resolution | 100 nm standard, 20 nm in phase mode |
| Vertical scan speed | up to 50 mm per second |
| Lateral resolution | 40 μm (standard configuration) |
| Reflectivity of sample | < 0.1% to 100% |
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