Heliotis 3D 白光干涉掃描儀
HeliOptics WLI5
HeliOptics WLI5小型的Mirau干涉儀模組
heliOpticsTM WLI5是機器製造商的元件級3D計量解決方案。其小巧的尺寸，重量和穩定的光學設計賦予創新的干涉儀配置和具成本效益的系統整合。 WLI5的垂直解析可低至奈米，側向解析可低至0.8微米，特別適用於高準確性表面特徵分析和量測幾何特徵，像是高度、共面性、平面度或平坦度等需要高精度的使用。 結合Heliotis超快的heliCamTM C3，以及一系列可替換的鏡頭，一站式3D度量方案可提供客製配置. 作為最快的掃描白光干涉儀，WLI5/C3配置適合用於電子零件和封裝、微機械、MEMS，微型光學或者半導體檢測。
特色
- 超高精度感測器，水平解析度可達0.8µm 垂直解析度可達1nm
- 採用白光干涉原理，可進行透明與高反光物體的3D面掃描量測
- 內含FPGA晶片，量測速度快
- 體積小，易於整合
應用
| WLI interferometer | Mirau configuration, exchangeable objectives (10x, 20x, 50x) | ||
| light source | high power LED | ||
| field of view (*) | 232x222 μm | 580x556 μm | 1160x1112 μm |
| numerical aperture | 0.5 | 0.4 | 0.3 |
| working distance | 2.52 mm | 3.57 mm | 3.57 mm |
| vertical resolution (*) (single meas., RMS) | 50 nm 1 nm in phase mode | 70 nm 1 nm in phase mode | 100 nm 1nm in phase mode |
| vertical scan speed (*) | up to 50 mm per second | ||
| lateral resolution (*) | 0.8 μm | 2 μm | 4 μm |
| reflectivity of sample (*) | < 0.1% to 100% | ||
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