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產品資訊

嚴選代理產品的品質,完整的開發設備技術研究團隊與專業的整合技術,是我們最大的目標與堅持。

Heliotis 3D 白光干涉掃瞄儀 heliInspect™H9

 

heliInspect™H9 3D 面型高精度

白光干涉儀工業檢測相機

 

更大的量測範圍

  • 可用於 6 種視野 [mm x mm]
  • 26.1 x 24.616.3 x 15.413.0 x 12.38.7 x 8.26.5 x 6.14.3 x 4.1
  • 具有準確的亞微米分辨率的拓撲測量
  • 使用最新的 3D 像素傳感器 heliSens S4H
  • 無與倫比的測量速度和分辨率
  • 高動態範圍確保精準的測量

較長工作距離

  • 標準版本H9S 工作距離49-51mm
  • H9L版本工作距離110-113 mm

 

輕鬆整合到生產線中

  • 標準 GenICam 介面
  • 標準範例已在相機上執行
  • 多種線材和鎖附配置可選擇

軟體

  • 與支援 GenICam 的標準應用程式相容
  • heliSDK™ 包含 Halcon、C++、LabVIEW、Python 範例

 

 

 

 

應用

     
 
可檢測、量測錫球及晶圓上各部件
 
 

 

 

 

heliInspect™H9

 

 H9 L  
 Measurement principle  White-Light Interferometer (industrial grade WLI)
 Magnification 2x 1x 0.8x 0.5x
 Field of View[mm x mm] 6.14 x6.53 12.29 x13.06 15.36 x16.32 24.58 x26.11
 Lateral Resolution [um] 12 24 30 48
 Working Distance [mm] 110 113 113 113
 Numerical Aperture 0.11 0.067 0.053 0.033

 

 

 H9 S  
 Measurement principle White-Light Interferometer (industrial grade WLI)
 Magnification 3x 2x 1.5x 1x 0.8x 0.5x
 Field of View[mm x mm] 4.10 x 4.35 6.14 x6.53 8.19 x8.70 12.29 x13.06 15.36 x16.32 24.58 x26.11
 Lateral Resolution [um] 8 12 16 24 30 48
 Working Distance [mm] 49 49 51  51 51 51
 Numerical Aperture 0.15 0.13 0.10 0.067 0.053 0.033

H9 L

 

 

H9 S

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