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產品資訊

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Heliotis 3D 白光干涉掃瞄儀 HeliOptics WLI5

HeliOptics WLI5小型的Mirau干涉儀模組

heliOpticsTM WLI5是機器製造商的元件級3D計量解決方案。其小巧的尺寸,重量和穩定的光學設計賦予創新的干涉儀配置和具成本效益的系統整合。

WLI5的垂直解析可低至奈米,側向解析可低至0.8微米,特別適用於高準確性表面特徵分析和量測幾何特徵,像是高度、共面性、平面度或平坦度等需要高精度的使用。

結合Heliotis超快的heliCamTM C3,以及一系列可替換的鏡頭,一站式3D度量方案可提供客製配置. 作為最快的掃描白光干涉儀,WLI5/C3配置適合用於電子零件和封裝、微機械、MEMS,微型光學或者半導體檢測。

 

特色:

  • 超高精度感測器,水平解析度可達0.8µm
    垂直解析度可達1nm
  • 採用白光干涉原理,可進行透明與高反光物體
    的3D面掃描量測
  • 內含FPGA晶片,量測速度快
  • 體積小,易於整合

 

 

應用

量測範例:MEMS structure
量測範例:silicon trenches, 40 to 100 nm deep

HeliOptics WLI5

 

 WLI interferometer  Mirau configuration, exchangeable objectives (10x, 20x, 50x)
 light source  high power LED
 field of view (*)  232x222 μm  580x556 μm  1160x1112 μm
 numerical aperture  0.5  0.4  0.3
 working distance  2.52 mm  3.57 mm  3.57 mm
 vertical resolution (*) (single meas., RMS)  50 nm 1 nm in phase mode  70 nm 1 nm in phase mode  100 nm 1nm in phase mode
 vertical scan speed (*)  up to 50 mm per second
 lateral resolution (*)  0.8 μm  2 μm  4 μm
 reflectivity of sample (*) < 0.1% to 100%

 

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