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產品資訊

嚴選代理產品的品質,完整的開發設備技術研究團隊與專業的整合技術,是我們最大的目標與堅持。

Heliotis 3D 白光干涉掃瞄儀 HeliInspect H4

 

heliInspect™H4 3D 面型白光干涉儀量測

H4是一款專為產線上所設計的相機,具有高生產量以及穩定性。也能為設備製造商打造客製化的相機。Heliotis的所有產品皆在瑞士境內製造,並具有持久的穩定性。

此儀器採用Heliotis的並行光學相干斷層掃描原理,並提供無與倫比的掃描速率。快速的影像擷取速率和特殊的干涉儀振動隔離設計。

 

相機能夠安裝在大部份機動性的機台上,包含的範圍如以下:

  • 解析度:1um (standard), 100 nm (optional)
  • 移動範圍:from 40 mm to 1 m
  • 軟體介面: C++, Halcon, LabView, Python

 

應用

  • 粗糙的物質表面
  • 幾何特徵控制
  • 生產線品管控制
  • 實驗室自動化
  • 代工廠整合
  • 數據統計過程管理

 

特色

  • 地形表面量測
  • 容積斷層掃描
  • 強大且快速
  • 亞微米解析度
  • 可量測各種物體表面
  • 相機外形小
  • 線性電動機的模塊化系統 (portal robot)
  • 軟體開發工具快速整合 (Windows, Mac, Linux)

 

 

 

應用

量測範例:topology validation of embossed metal
量測範例:co-planarity of glass object

heliInspect H4

 

 3D sensor  patented smart pixel sensor heliSense™ S3 with in-pixel signal processing of up to 1 million 2D-slices per second
 2D mode  live-view for navigation on sample (optional)
 Light source  standard: red power LED
 options: Superluminescent Light Emitting Diode (center = 840 nm, Poptical = 8 mW)
 Field of view  11.12 x 11.6 mm (standard configuration)
 Numerical aperture  0.1 (standard configuration)
 Working distance  16 mm (standard configuration)
 Vertical resolution  100 nm standard, 20 nm in phase mode
 Vertical scan speed  up to 50 mm per second
 Lateral resolution  40 μm (standard configuration)
 Reflectivity of sample  < 0.1% to 100%

 

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