Heliotis 3D 白光干涉掃描儀
heliInspect™H9/H9M
heliInspect™H9/9M 大視野工業及白光干涉儀
針對傳統感測器已達極限的應用場景，heliInspect™ H9 與 H9M 憑藉著真正的**次微米級（sub-micrometer）**高度解析度脫穎而出。這款工業級白光干涉儀擁有無與倫比的效能，其核心技術來自 Heliotis 最新一代的 3D 像素感測器 heliSens™ S4 與 S4M。
量測能力全面提升
- 次微米等級的高度量測精度
- 更高畫質的X,Y軸解析度
- 前所未有的量測速度
- 極高的動態範圍
- 多樣化的光學倍率選擇
像 2D 相機一樣簡單好整合
- 標準 GenICam 介面
- 內建相機端處理服務
軟體
- 與支援 GenICam 的標準應用程式相容
- heliSDK™ 包含 Halcon、C++、LabVIEW、Python 範例
應用
| Measurement principle | White-Light Interferometer (industrial grade WLI) |
| Sensor | Heliotis lock-in imager heliSens™ S4/S4M, in-pixel signal processing |
| Camera board | FPGA based high-speed board, SOC, Linux OS, high-level interface through embedded heliService™ |
| Light source | High-power LED, λc = 630 nm |
| Scanner | Linear motor, precision guides, stroke = 40 mm or 80 mm, standard resolution = 100 nm |
| Interfaces | GenCam / GigE, GIO, power (24V) |
| Software | heliSDK™ for C++, C#, Halcon, Matrox, LabVIEW, Python |
| Configuration | 3 x | 2 x | 1.5 x | 1 x | 0.8 x | 0.5 x | |
| Field of view [mm2] | 4.10 x4.35 | 6.14 x6.53 | 8.19 x8.70 | 12.29 x13.06 | 15.36 x16.32 | 24.58 x26.11 | |
| Optical resolution [µm] | H9 | 8 | 12 | 16 | 24 | 30 | 48 |
| H9M | 4 | 6 | 8 | 12 | 15 | 24 | |
| Working distance [mm] | Standard | 49 | 49 | 51 | 51 | 51 | 51 |
| Long WD | n.a. | n.a. | n.a. | 113 | 113 | 113 | |
| Numerical aperture | Standard | 0.15 | 0.13 | 0.10 | 0.067 | 0.053 | 0.033 |
| Long WD | n.a. | 0.11 | n.a. | 0.067 | 0.053 | 0.033 | |
