PRECITEC
CHROCODILE CLS 2PRO
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CHROCODILE CLS 2PRO 通過光學檢測進行品質控制 彩色共焦線傳感器 CHRocodile CLS 2Pro 提供了線長度、可接受角度和速度之間的最佳組合。它非常適合消費電子和半導體行業上的應用。
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高效率
- 超高量測速度
- 超精密
- 非接觸式
通過每秒高達 36,000 線(36K)的快速線掃描，可在極短的時間內確定樣品的 3D 結構——非常適合循環時間至關重要的產線上應用。
多種用途
- 免維護
- 測量所有表面
- 沒有殘影效應
利用 Precitec 的同軸技術，入射光和探測光將沿著相同的路徑，入射光束和檢測光束之間不存在角度差，因此可測量各種幾何形狀，完美解決了陰影問題。
易於使用且安全
- 易於整合到生產線中
- 使用可更換光學鏡頭進行即時在線輪廓
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| 探針卡檢測 | 監測晶圓彎曲度、 翹曲度和總厚度變化 |
晶圓薄化和結構化期間 的製程中厚度監測 |
切割槽檢測 | 晶粒裂痕檢測 |
CHROCODILE CLS 2PRO
| 測量值 | 距離 |
| 測量速率 [線/秒]（全測量範圍） | 7930 |
| 測量速率 [線/秒]（高速模式，縮小測量範圍) | 36000 |
| 每條線的點數 | 1200 |
| 與外部設備同步 | trigger input, synchronizing output, 5 encoder inputs |
| 介面 | Ethernet, RS-4221) |
| 光源 | Laser Diode |
| 工作溫度 | +5°C up to +35°C |
| 尺寸 (w x h x d) | 285 mm x 215 mm x 135 mm |
| 重量 | 7 kg |
| 電源電壓 | 24 V DC ± 10% |
| 額定功率 | < 50 W |
| 產品編號 | ICDL-CHROCODILE CLS 2 PRO |